Методом ЛА ИСП МС проведен послойный анализ пластин монокристаллического танталата лития Z-среза (перпендикулярного кристаллографической оси Z), модифицированных методом VTE, с целью установления изменения соотношения Li/Ta. Полученные данные наряду с результатами исследования методами РСА и спектроскопии КР позволили подтвердить возникновение областей толщиной от десятков до сотен мкм с различным стехиометрическим составом и существенно уточнить их границы, что важно для дальнейшего формирования доменных структур с целью создания устройств интегральной оптики.
Z-slice (perpendicular to the crystallographic axis Z) of LiTaO3 single-crystal modified by the method of Vapor Transport Equilibration (LT VTE) is studied to determine a change in Li/Ta ratio. Data of layer analysis of LT using mass spectrometry with inductively coupled plasma with laser ablation (LA MS ICP) along with XRS and Raman spectroscopy data allowed us to confirm the presence of the areas with a thickness from tens to hundreds of microns having different stoichiometric composition and define more accurately their boundaries which is rather important for further formation of domain structures with the purpose of creating integrated optic devices.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.