Показано, что применение кварцевой капиллярной колонки с углеродным адсорбентом позволяет эффективно разделять и определять в моногермане примеси постоянных газов, диоксида углерода, закиси азота, углеводородов C1 - C2 и силана. Изучено влияние объема вводимой пробы моногермана на определение этана и углекислого газа. Пределы хромато-масс-спектрометрического обнаружения примесей составили (10 - 1) • 106 % мол. Предел обнаружения лимитирующей примеси - этана - удалось снизить в 7 раз по сравнению с литературными данными.
The use of quartz capillary column with a carbon adsorbent is shown to provide efficient separation and detection of the impurities in monogermane, i.e., permanent gases, carbon dioxide, nitrous oxide, hydrocarbons C1 - C2 and silicon tetrahydride. The effect of the amount of injected monogermane on the determination of ethane and carbon dioxide is studied. Limits of chromatographic/mass spectrometric detection of the impurities ranged within (10 - 1) x 106 % mol. We managed to attain sevenfold reduction of the detection limit of the limiting impurity, ethane, compared to the literature data.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.