EBSD-метод (Electron Backscattered Diffraction) используют для фазового и микротекстурного анализа вещества. EBSD-детектором - приставкой к сканирующему электронному микроскопу -диагностируют тип кристаллической решетки и ее ориентацию в каждой точке образца. При этом достоверность результатов зависит от корректности пробоподготовки, которая для разных материалов требует различных методик, а в ряде случаев - дополнительного оборудования. Предложен метод подготовки образцов, характеризующийся в отличие от традиционных подходов универсальностью и быстротой. Метод использует ионный зонд двухлучевого сканирующего электронного микроскопа и позволяет работать с разными материалами однотипным образом. Главное его преимущество - можно подготовить для EBSD только выбранный участок поверхности без полировки остальной части, что принципиально в тех случаях, когда полировка всего образца невозможна по каким-либо причинам. Также высокое разрешение метода незаменимо при EBSD-анализе единичных микрообъектов (например, специфических включений или дефектов в материале, микронных зерен редких минералов в руде и др.). При других способах EBSD-пробоподготовки сохранность подобных микрообъектов после финальной полировки не гарантирована.