Ускорители отрицательных ионов водорода и дейтронов широко применяют, например, в области медицины. Вывод пучка частиц из ускорителей осуществляют методом перезарядки ионов при их прохождении через тонкую углеродную фольгу. В работе представлены результаты исследования долговечности перезарядных фольг. Исследовали углеродные фольги толщиной 1 – 4 мкм, полученные на стеклянной подложке путем вакуумно-дугового распыления графитовых стержней. При проведении экспериментов применяли лабораторный стенд, моделирующий воздействие пучка отрицательных ионов водорода (энергия 18 МэВ) с использованием пучка электронов (энергия 10 кэВ). Образцы подвергали облучению потоком электронов, при этом каждый образец сохранял свою целостность. До и после облучения поверхности фольг анализировали с помощью атомно-силовой микроскопии. Установлено, что облучение меняет морфологию поверхности (параметры шероховатости ухудшаются). Методом электростатической силовой микроскопии выявлено заметное отличие между облученной и необлученной частями фольги не только по толщине, но и по электрической проводимости. Полученные результаты и разработанный метод исследования могут быть использованы при оперативном внесении изменений в технологию формирования фольг для повышения срока их службы.