Предложен полуэмпирический способ априорной оценки влияния рельефа поверхности на результаты рентгеноспектрального анализа бинарных соединений. Безразмерный параметр к, характеризующий влияние рельефа на интенсивность характеристического рентгеновского излучения, определили с использованием экспериментальных данных, полученных для тестовых монокристаллических образцов GaAs с известными геометрическими параметрами рельефа.
A semi-empirical method of a priori estimates of the effect of surface relief on the results of binary compounds electron probe microanalysis is developed. The dimensionless parameter k which characterizes the effect of the surface relief on the intensity of characteristic x-ray is determined using experimental data obtained for test single-crystal GaAs samples with known geometrical parameters of the relief.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.