zldmЗаводская лаборатория. Диагностика материаловIndustrial laboratory. Diagnostics of materials1028-68612588-0187ООО «Издательство «ТЕСТ-ЗЛ»zldm-346Research ArticleОБМЕН ОПЫТОМEXCHANGE OF EXPERIENCEАлгоритм расчета толщины тонких металлических пленокEllipsometric Determination the Thickness of Thin Metal FilmsКонцевойЮ. А.KontsevoyYu. A.kontsevoy@pulsarnpp.ruКондаковМ. Н.KondakovM. N.noemail@neicon.ruПетроваИ. Г.PetrovaI. G.noemail@neicon.ruНПП «Пульсар»Russian Federation20160112201682124142Copyright © Концевой Ю.А., Кондаков М.Н., Петрова И.Г., 20162016Концевой Ю.А., Кондаков М.Н., Петрова И.Г.Kontsevoy Y.A., Kondakov M.N., Petrova I.G.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.zldm.ru/jour/article/view/346ReferencesВасильев А. Г., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А. СВЧ приборы и устройства на широкозонных полупроводниках. - М.: Техносфера, 2011. - 416 с.Васильев А. Г., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А. СВЧ приборы и устройства на широкозонных полупроводниках. - М.: Техносфера, 2011. - 416 с.Груздов В. В., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А. Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике. - М.: Техносфера, 2016.-328 с.Груздов В. В., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А. Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике. - М.: Техносфера, 2016.-328 с.Пат. № 2558645 РФ, МПК G01B 11/06. Способ определения толщины металлических пленок / Завадский Ю. П., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А., Курмачев В. А.; заявитель и патентообладатель ОАО «НПП «Пульсар». - №201401391; заявл. 17.01.2014; опубл. 10.08.2015. Бюл. №22.Пат. № 2558645 РФ, МПК G01B 11/06. Способ определения толщины металлических пленок / Завадский Ю. П., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А., Курмачев В. А.; заявитель и патентообладатель ОАО «НПП «Пульсар». - №201401391; заявл. 17.01.2014; опубл. 10.08.2015. Бюл. №22.Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ №2011617200 RU №4(77) от 20.12.2011. Программа поиска значений оптических констант поглощающего слоя структуры по измеренным характеристикам поляризации отраженного излучения (OPT-MIN. BAS) / Гуськов Б. Л., Завадский Ю. П., Концевой Ю. А.; заявитель и патентообладатель ОАО «НПП «Пульсар».Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ №2011617200 RU №4(77) от 20.12.2011. Программа поиска значений оптических констант поглощающего слоя структуры по измеренным характеристикам поляризации отраженного излучения (OPT-MIN. BAS) / Гуськов Б. Л., Завадский Ю. П., Концевой Ю. А.; заявитель и патентообладатель ОАО «НПП «Пульсар».
The authors declare that there are no conflicts of interest present.