<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.3 20210610//EN" "JATS-journalpublishing1-3.dtd">
<article article-type="research-article" dtd-version="1.3" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xml:lang="ru"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">zldm</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="ru">Заводская лаборатория. Диагностика материалов</journal-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Industrial laboratory. Diagnostics of materials</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn pub-type="ppub">1028-6861</issn><issn pub-type="epub">2588-0187</issn><publisher><publisher-name>ООО «Издательство «ТЕСТ-ЗЛ»</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id custom-type="elpub" pub-id-type="custom">zldm-389</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="heading"><subject>Research Article</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="ru"><subject>Статьи</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title>Применение многослойных диэлектрических покрытий для подавления излучения нерабочих порядков спектра в спектрометрах с дифракционной решеткой</article-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Application of Multilayer Dielectric Coatings for Suppression of Non-Working Spectrum Orders in Diffraction Grating Spectrometers</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Семенов</surname><given-names>З. В.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Semenov</surname><given-names>Z. V.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">info@vmk.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Лабусов</surname><given-names>В. А.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Labusov</surname><given-names>V. A.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">info@vmk.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Зарубин</surname><given-names>И. А.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Zarubin</surname><given-names>I. A.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">info@vmk.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Эрг</surname><given-names>Г. В.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Erg</surname><given-names>G. V.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-3"/></contrib></contrib-group><aff xml:lang="ru" id="aff-1"><institution>Институт автоматики и электрометрии СО РАН, ООО «ВМК-Оптоэлектроника»</institution><country>Russian Federation</country></aff><aff xml:lang="ru" id="aff-2"><institution>Институт автоматики и электрометрии СО РАН, ООО «ВМК-Оптоэлектроника»; Новосибирский государственный технический университет</institution><country>Russian Federation</country></aff><aff xml:lang="ru" id="aff-3"><institution>Институт лазерной физики СО РАН</institution><country>Russian Federation</country></aff><pub-date pub-type="collection"><year>2017</year></pub-date><pub-date pub-type="epub"><day>01</day><month>01</month><year>2017</year></pub-date><volume>83</volume><issue>1</issue><fpage>117</fpage><lpage>122</lpage><permissions><copyright-statement>Copyright &amp;#x00A9; Семенов З.В., Лабусов В.А., Зарубин И.А., Эрг Г.В., 2017</copyright-statement><copyright-year>2017</copyright-year><copyright-holder xml:lang="ru">Семенов З.В., Лабусов В.А., Зарубин И.А., Эрг Г.В.</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="en">Semenov Z.V., Labusov V.A., Zarubin I.A., Erg G.V.</copyright-holder><license xml:lang="ru" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.</license-p></license><license xml:lang="en" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.</license-p></license></permissions><self-uri xlink:href="https://www.zldm.ru/jour/article/view/389">https://www.zldm.ru/jour/article/view/389</self-uri><abstract><p>Представлен расчет конфигурации комбинированного оптического фильтра для подавления (отражения) излучения нерабочих порядков спектра в спектрометрах с дифракционной решеткой. Комбинированный фильтр состоит из подложки с нанесенными отрезающими светофильтрами на основе многослойных оптический покрытий. Расчет учитывает допуски на ширину спектральных переходов в спектрах фильтров и точность позиционирования фильтров на подложке. Рассчитан и изготовлен фильтр для подавления излучения нерабочих порядков дифракционного спектра, получаемого с помощью малогабаритного спектрометра «Колибри-2» с рабочим спектральным диапазоном 190-1100 нм. Созданный фильтр подавляет интенсивность излучения нерабочих порядков спектра не менее чем в 2 • 104 раз. Обнаружены артефакты в спектре, вызванные преломлением излучения на краях многослойных покрытий, и предложен способ уменьшения этого негативного эффекта.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="en"><p>The calculation of the combined optical filter configuration for suppression (reflection) of the non-working spectrum orders in diffraction grating spectrometers is presented. Combined filter consists of a substrate with deposited dichroic filters based on multilayer optical coatings. The calculation takes into account the acceptable width of spectral transitions in the filters transmission spectra and dichroic filters positioning accuracy on the substrate. A filter was designed and manufactured for suppression of the non-working diffraction spectrum orders of small-sized spectrometer “Kolibri-2” with operating spectral range of 190 - 1100 nm. The filter’s degree of intensity suppression of non-working orders is at least 2 X 104 times. Artifacts observed in the spectrum are attributed to the light refraction at the edges of the multilayer coatings. A method providing reduction of the aforementioned negative effect is developed.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>order filters</kwd><kwd>dichroic filter</kwd><kwd>multilayer dielectric coatings</kwd><kwd>deposition control</kwd><kwd>spectrophotometry</kwd><kwd>thin films</kwd><kwd>фильтры порядков</kwd><kwd>отрезающие светофильтры</kwd><kwd>многослойные диэлектрические покрытия</kwd><kwd>контроль напыления</kwd><kwd>спектрофотометрия</kwd><kwd>тонкие пленки</kwd></kwd-group></article-meta></front><back><ref-list><title>References</title><ref id="cit1"><label>1</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Зарубин И. А., Гаранин В. Г., Лабусов В. А. Применение малогабаритного спектрометра «Колибри-2» в атомно-эмиссионном анализе / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т. 78. № 1. Ч. II. С. 86 - 89.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Зарубин И. А., Гаранин В. Г., Лабусов В. А. Применение малогабаритного спектрометра «Колибри-2» в атомно-эмиссионном анализе / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т. 78. № 1. Ч. II. С. 86 - 89.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit2"><label>2</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Пейсахсон И. В. Оптика спектральных приборов. Изд. 2-е, доп. и перераб. -Л.: Машиностроение, 1975. - 312 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Пейсахсон И. В. Оптика спектральных приборов. Изд. 2-е, доп. и перераб. -Л.: Машиностроение, 1975. - 312 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit3"><label>3</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Зарубин И. А. Возможности малогабаритного спектрометра «Колибри-2» в атомно-эмиссионном спектральном анализе / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2017. Т. 83. № 1. Ч. II. С. 114 - 117.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Зарубин И. А. Возможности малогабаритного спектрометра «Колибри-2» в атомно-эмиссионном спектральном анализе / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2017. Т. 83. № 1. Ч. II. С. 114 - 117.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit4"><label>4</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Панкратов С. В., Лабусов В. А., Неклюдов О. А., Ващенко П. В. Автоматическая градуировка спектрометров с анализаторами МАЭС по длинам волн (профилирование) / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2015. Т. 81. № 1. Ч. II. С. 128 - 134.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Панкратов С. В., Лабусов В. А., Неклюдов О. А., Ващенко П. В. Автоматическая градуировка спектрометров с анализаторами МАЭС по длинам волн (профилирование) / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2015. Т. 81. № 1. Ч. II. С. 128 - 134.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit5"><label>5</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Furman Sh. A., Tikhonravov A. V. Basics of optics of multilayer systems. - Gif-sur-Yvette: Editions Frontiers, 1992. - 242 p.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Furman Sh. A., Tikhonravov A. V. Basics of optics of multilayer systems. - Gif-sur-Yvette: Editions Frontiers, 1992. - 242 p.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit6"><label>6</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Лабусов В. А., Семенов З. В., Зарубин И. А. и др. Система спектрального контроля нанесения многослойных диэлектрических покрытий / Измерительная техника. 2013. № 12. С. 11 - 14.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Лабусов В. А., Семенов З. В., Зарубин И. А. и др. Система спектрального контроля нанесения многослойных диэлектрических покрытий / Измерительная техника. 2013. № 12. С. 11 - 14.</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list><fn-group><fn fn-type="conflict"><p>The authors declare that there are no conflicts of interest present.</p></fn></fn-group></back></article>
