Рассмотрены два подхода к улучшению локальности определения методом электронно-зондового рентгеноспектрального микроанализа (ЭЗРСМА) при исследовании состава наночастиц. Первый подход основан на использовании в качестве аналитических ультрамягких рентгеновских линий L- и М-серий характеристического излучения определяемых элементов, возбуждаемых электронами сравнительно низких энергий (менее 5 кэВ). Для этого случая разработана схема количественного ЭЗРСМА, включающая новый способ вычисления поправок на матричные эффекты. Экстраполяционный способ построения градуировочной характеристики распространен на все элементы с Z >40. Второй подход основан на использовании части аналитического сигнала, обусловленного только возбуждением электронами зонда. Достигнута латеральная локальность около 2 нм, продольная - 20-60 нм, минимально определяемая масса вещества составляет около (1 - 2,5) • 1021 г, что соответствует 10 - 30 атомам определяемых элементов.
Two approaches to improving the resolution of electron-probe x-ray spectral microanalysis of the nano-particle composition are considered. The first approach is based on the use of low (less than 5 keV) energy of the probe electrons and characteristic radiation of the detected elements as analytical x-ray lines of L- and M-series. The second approach is based on the use of a part of the analytical signal attributed only to excitation by probe electrons. The lateral and longitudinal resolution thus attained are about 2 nm and 20 - 60 nm, respectively, the minimum detectable mass of the substance corresponds to 10-30 atoms of the elements to be determined.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.