<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<!DOCTYPE article PUBLIC "-//NLM//DTD JATS (Z39.96) Journal Publishing DTD v1.3 20210610//EN" "JATS-journalpublishing1-3.dtd">
<article article-type="research-article" dtd-version="1.3" xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xml:lang="ru"><front><journal-meta><journal-id journal-id-type="publisher-id">zldm</journal-id><journal-title-group><journal-title xml:lang="ru">Заводская лаборатория. Диагностика материалов</journal-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Industrial laboratory. Diagnostics of materials</trans-title></trans-title-group></journal-title-group><issn pub-type="ppub">1028-6861</issn><issn pub-type="epub">2588-0187</issn><publisher><publisher-name>ООО «Издательство «ТЕСТ-ЗЛ»</publisher-name></publisher></journal-meta><article-meta><article-id custom-type="elpub" pub-id-type="custom">zldm-513</article-id><article-categories><subj-group subj-group-type="heading"><subject>Research Article</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="ru"><subject>АНАЛИЗ ВЕЩЕСТВА</subject></subj-group><subj-group subj-group-type="section-heading" xml:lang="en"><subject>SUBSTANCES ANALYSIS</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title>Исследование примесного состава моноизотопного германа72GeH4 высокой чистоты методом хромато-масс-спектрометрии</article-title><trans-title-group xml:lang="en"><trans-title>Study of the Impurity Composition of Monoisotopic High Purity Germane72GeHi Using Gas Chromatography-Mass Spectrometry</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Созин</surname><given-names>А. Ю.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Sozin</surname><given-names>A. Yu.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">sozin@ihps.nnov.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Чернова</surname><given-names>О. Ю.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Chernova</surname><given-names>O. Yu.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Сорочкина</surname><given-names>Т. Г.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Sorochkina</surname><given-names>T. G.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Буланов</surname><given-names>А. Д.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Bulanov</surname><given-names>A. D.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-2"/></contrib><contrib contrib-type="author" corresp="yes"><name-alternatives><name name-style="eastern" xml:lang="ru"><surname>Нуштаева</surname><given-names>Л. Б.</given-names></name><name name-style="western" xml:lang="en"><surname>Nushtaeva</surname><given-names>L. B.</given-names></name></name-alternatives><email xlink:type="simple">noemail@neicon.ru</email><xref ref-type="aff" rid="aff-1"/></contrib></contrib-group><aff xml:lang="ru" id="aff-1"><institution>Институт химии высокочистых веществ им. Г. Г. Девятых Российской академии наук</institution><country>Russian Federation</country></aff><aff xml:lang="ru" id="aff-2"><institution>Институт химии высокочистых веществ им. Г. Г. Девятых Российской академии наук; Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского</institution><country>Russian Federation</country></aff><pub-date pub-type="collection"><year>2017</year></pub-date><pub-date pub-type="epub"><day>01</day><month>08</month><year>2017</year></pub-date><volume>83</volume><issue>8</issue><fpage>15</fpage><lpage>22</lpage><permissions><copyright-statement>Copyright &amp;#x00A9; Созин А.Ю., Чернова О.Ю., Сорочкина Т.Г., Буланов А.Д., Нуштаева Л.Б., 2017</copyright-statement><copyright-year>2017</copyright-year><copyright-holder xml:lang="ru">Созин А.Ю., Чернова О.Ю., Сорочкина Т.Г., Буланов А.Д., Нуштаева Л.Б.</copyright-holder><copyright-holder xml:lang="en">Sozin A.Y., Chernova O.Y., Sorochkina T.G., Bulanov A.D., Nushtaeva L.B.</copyright-holder><license xml:lang="ru" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.</license-p></license><license xml:lang="en" license-type="creative-commons-attribution" xlink:href="https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/" xlink:type="simple"><license-p>This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.</license-p></license></permissions><self-uri xlink:href="https://www.zldm.ru/jour/article/view/513">https://www.zldm.ru/jour/article/view/513</self-uri><abstract><p>Методом хромато-масс-спектрометрии исследован примесный состав германа, обогащенного изотопом германия72Ge до 99,953 % ат. Для хроматографического разделения примесей использовали кварцевые газоадсорбционные капиллярные колонки GS-GasPro 60 м х 0,32 мм с модифицированным силикагелем, CarbonPlot 25 м х 0,32 мм х 0,25 мкм с углеродным сорбентом и 25 м х 0,26 мм х 0,25 мкм с сорбентом политриметилсилилпропином. Идентификацию примесей проводили сравнением их масс-спектров с масс-спектрами базы данный NIST и с использованием приведенных в литературе данных по временам удерживания и масс-спектрам германийсодержащих веществ. В образцах различных фракций72GeH4, отобранных в ходе его ректификационной очистки, идентифицированы примеси постоянных газов, ксенона, криптона, оксида азота (I), диоксида углерода, силана, углеводородов Q - С8, ароматических, хлор- и фторсодержащих углеводородов, гомологов германа, метилгермана, хлоргермана, сероуглерода, карбонилсульфида, 1,4-диоксана, дифтордиметилсилана. Примеси ксенона, криптона, сероуглерода, карбонилсульфида, 1,4-диоксана и дифтордиметилсилана идентифицированы в германе впервые. Установлено, что примеси сероуглерода, криптона и ксенона имеют смещенный изотопный состав, а примеси метилгермана, гомологов германа и хлоргермана, как и основной компонент, являются изотопно-обогащенными. Примеси определяли в режиме регистрации выбранных ионов (SIM) с использованием изотопов, для которых соотношение сигнал/шум максимально. Концентрации примесей определяли методом абсолютной градуировки по площадям пиков с использованием аттестованных или приготовленных нами поверочных смесей. В случае отсутствия образцов сравнения концентрации примесей определяли с использованием зависимости коэффициентов чувствительности их детектирования от величины полных сечений ионизации. Пределы обнаружения примесей рассчитывали по утроенному стандартному отклонению сигнала «холостого» опыта. Они составили 1 • 105 - 5 • 108% мол. Правильность анализа подтверждена методом варьирования величины пробы.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="en"><p>Gas chromatography-mass spectrometry is used to study the impurity composition of germane, isotopically enriched with germanium72Ge to 99.953 %at. For the chromatographic separation of impurities, we used quartz gas-adsorption capillary columns GS-GasPro 60 m х 0.32 mm with modified silica gel, CarbonPlot 25 m х 0.32 mm х 0.25 pm with a carbon sorbent and 25 m х 0.26 mm х 0.25 pm with polytrimethylsilylpropyne. Identification of the impurities was carried out by comparing their mass spectra with the mass spectra of NIST database, using literature data on the retention time and mass spectra of germanium-containing substances. The impurities of permanent gases, xenon, krypton, nitrous oxide, carbon dioxide, silane, hydrocarbons C1 - C8, aromatic, chlorinated and fluorinated hydrocarbons, homologues of germane, methylgermane, chlorogermane, carbon disulfide, carbonyl sulfide, 1,4-dioxane, difluorodimethylsilane are identified in different fractions of72GeH4 obtained during rectification. Impurities of xenon, krypton, carbon disulfide carbon oxides, 1,4-dioxane and difluorodimethylsilane have been identified in germanium for the first time. The impurities of carbon disulfide, krypton and xenon exhibit shifted isotopic composition while the impurities of methylgermane, homologues of germane and chlorogermane, as well as the main component are isotopically enriched. Quantitative determination of the impurities is carried out in the mode of selected ion monitoring (SIM) using the mass numbers with the maximum signal-to-noise ratio. The impurity concentrations are determined by absolute calibration of peak areas using self-prepared and certified calibration mixtures. In the absence of reference samples, the impurity concentrations are determined from the dependence of the coefficients of detection sensitivity on the value of the total ionization cross section. Detection limits calculated by tripling value of the standard deviation of a signal in the “blank” experiment range within 1 x 105 - 5 x 108 % mol.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>хромато-масс-спектрометрия</kwd><kwd>идентификация</kwd><kwd>изотопно-обогащенный герман</kwd><kwd>примеси</kwd><kwd>масс-спектры</kwd><kwd>gas chromatography-mass spectrometry</kwd><kwd>identification</kwd><kwd>isotopically enriched germane</kwd><kwd>impurities</kwd><kwd>mass spectra</kwd></kwd-group></article-meta></front><back><ref-list><title>References</title><ref id="cit1"><label>1</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Шубин А. Н., Гилев А. Н., Кононов Д. Б. и др. Новые требования к обогащенным изотопам для экспериментов по изучению безнейтринного двойного p-распада (эксперимент Герда) / Атомная энергия. 2006. Т. 101. № 2. С. 588 - 592.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Шубин А. Н., Гилев А. Н., Кононов Д. Б. и др. Новые требования к обогащенным изотопам для экспериментов по изучению безнейтринного двойного p-распада (эксперимент Герда) / Атомная энергия. 2006. Т. 101. № 2. С. 588 - 592.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit2"><label>2</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Avignone F. T., Brodzinski R. L., Klimenko A. A., et al. Results of the Pilot Experiment to Search for Inelastic Interactions of WIMPS with 73Ge / Physics of Atomic Nuclei. 2000. Vol. 63. N 7. P. 1337 - 1340.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Avignone F. T., Brodzinski R. L., Klimenko A. A., et al. Results of the Pilot Experiment to Search for Inelastic Interactions of WIMPS with 73Ge / Physics of Atomic Nuclei. 2000. Vol. 63. N 7. P. 1337 - 1340.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit3"><label>3</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Деточенко А. П., Денисов С. А., Дроздов М. Н. и др. Эпитаксиально выращенные моноизотопные слои Si, Ge и твердого раствора Si 1 xGex получение и некоторые свойства / Физика и техника полупроводников. 2016. Т. 50. № 3. С. 350 - 353.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Деточенко А. П., Денисов С. А., Дроздов М. Н. и др. Эпитаксиально выращенные моноизотопные слои Si, Ge и твердого раствора Si 1 xGex получение и некоторые свойства / Физика и техника полупроводников. 2016. Т. 50. № 3. С. 350 - 353.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit4"><label>4</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Klimenko A. A., Osetrov S. B., Smolnikov A. A., et al. Experimental limit on the charge non-conserving p decay of Ge-73 / Phys. Lett. B. 2002. Vol. 535. P. 77-84.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Klimenko A. A., Osetrov S. B., Smolnikov A. A., et al. Experimental limit on the charge non-conserving p decay of Ge-73 / Phys. Lett. B. 2002. Vol. 535. P. 77-84.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit5"><label>5</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Журавлева Л., Плеханов В. Изотопическая наноинженерия для телекоммуникационных систем / Наноиндустрия. 2012. Т. 33. № 3. С. 54-59.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Журавлева Л., Плеханов В. Изотопическая наноинженерия для телекоммуникационных систем / Наноиндустрия. 2012. Т. 33. № 3. С. 54-59.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit6"><label>6</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Арефьев Д. Г., Васин С. А., Долгов С. В. и др. О применении моногермана для разделения изотопов германия на газовых центрифугах / Перспективные материалы. 2010. Специальный выпуск №8. С. 19-24.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Арефьев Д. Г., Васин С. А., Долгов С. В. и др. О применении моногермана для разделения изотопов германия на газовых центрифугах / Перспективные материалы. 2010. Специальный выпуск №8. С. 19-24.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit7"><label>7</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Гусев А. В., Буланов А. Д., Филимонов С. В. и др. Получение высокочистого изотопно-обогащенного германия 76Ge / Перспективные материалы. 2011. № 10. С. 17 - 20.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Гусев А. В., Буланов А. Д., Филимонов С. В. и др. Получение высокочистого изотопно-обогащенного германия 76Ge / Перспективные материалы. 2011. № 10. С. 17 - 20.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit8"><label>8</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Пат. 2412747 РФ, МПК B 01 D 59/20. Способ разделения изотопов германия / Арефьев Д. Г. и др.; заявитель и патентообладатель Институт химии высокочистых веществ РАН, ОАО «Производственное объединение «Электрохимический завод». - № 2009127051/05; заявл. 16.07.2009. опубл. 27.02.2011, бюл. № 6.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Пат. 2412747 РФ, МПК B 01 D 59/20. Способ разделения изотопов германия / Арефьев Д. Г. и др.; заявитель и патентообладатель Институт химии высокочистых веществ РАН, ОАО «Производственное объединение «Электрохимический завод». - № 2009127051/05; заявл. 16.07.2009. опубл. 27.02.2011, бюл. № 6.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit9"><label>9</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Крылов В. А. Анализ высокочистых летучих веществ / Журн. аналит. химии. 2002. Т. 57. № 8. С. 790 - 802.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Крылов В. А. Анализ высокочистых летучих веществ / Журн. аналит. химии. 2002. Т. 57. № 8. С. 790 - 802.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit10"><label>10</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Девятых Г. Г., Зорин А. Д. Летучие неорганические гидриды особой чистоты. - М.: Наука, 1974. - 206 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Девятых Г. Г., Зорин А. Д. Летучие неорганические гидриды особой чистоты. - М.: Наука, 1974. - 206 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit11"><label>11</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Ежелева А. Е., Снопатин Г. Е., Малыгина Л. С. Применение пламенно-фотометрического детектора при хроматографическом анализе летучих неорганических гидридов особой чистоты / Журн. аналит. химии. 1979. Т. 34. № 12. С. 2308 - 2311.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Ежелева А. Е., Снопатин Г. Е., Малыгина Л. С. Применение пламенно-фотометрического детектора при хроматографическом анализе летучих неорганических гидридов особой чистоты / Журн. аналит. химии. 1979. Т. 34. № 12. С. 2308 - 2311.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit12"><label>12</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Крылов В. А., Красотский С. Г., Малышев В. М. и др. Криогенный метод концентрирования примесей водорода, аргона, кислорода и азота при их газохроматографическом определении в летучих неорганических гидридах / Журн. аналит. химии. 2001. Т. 56. №11. С. 1137- 1143.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Крылов В. А., Красотский С. Г., Малышев В. М. и др. Криогенный метод концентрирования примесей водорода, аргона, кислорода и азота при их газохроматографическом определении в летучих неорганических гидридах / Журн. аналит. химии. 2001. Т. 56. №11. С. 1137- 1143.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit13"><label>13</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Зорин А. Д., Фролов И. А., Карабанов Н. Т. и др. Хроматографический анализ силана и германа на содержание органических примесей / Журн. аналит. химии. 1970. Т. 25. № 10. С. 389 - 391.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Зорин А. Д., Фролов И. А., Карабанов Н. Т. и др. Хроматографический анализ силана и германа на содержание органических примесей / Журн. аналит. химии. 1970. Т. 25. № 10. С. 389 - 391.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit14"><label>14</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Воротынцев В. М., Мочалов Г. М., Суворов С. С. и др. Газохроматографическое определение содержания примесей постоянный газов, метана, моно- и диоксида углерода в моногермане особой чистоты / Журн. аналит. химии. 2010. Т. 65. № 6. С. 648 - 653.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Воротынцев В. М., Мочалов Г. М., Суворов С. С. и др. Газохроматографическое определение содержания примесей постоянный газов, метана, моно- и диоксида углерода в моногермане особой чистоты / Журн. аналит. химии. 2010. Т. 65. № 6. С. 648 - 653.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit15"><label>15</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Николаева Л. Г., Агафонов И. Л. Возможности определения примесей в летучих неорганических веществах особой чистоты методами масс-спектрометрии и газовой хроматографии / Получение и анализ веществ особой чистоты. - М.: Наука, 1978. С. 168 - 174.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Николаева Л. Г., Агафонов И. Л. Возможности определения примесей в летучих неорганических веществах особой чистоты методами масс-спектрометрии и газовой хроматографии / Получение и анализ веществ особой чистоты. - М.: Наука, 1978. С. 168 - 174.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit16"><label>16</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Девятых Г. Г., Засавицкий И. И., Ильин В. М. и др. ИК-спектрометр на перестраиваемые диодных лазерах для молекулярного анализа высокочистых летучих веществ / Высокочистые вещества. 1990. №6. С. 106-114.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Девятых Г. Г., Засавицкий И. И., Ильин В. М. и др. ИК-спектрометр на перестраиваемые диодных лазерах для молекулярного анализа высокочистых летучих веществ / Высокочистые вещества. 1990. №6. С. 106-114.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit17"><label>17</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Кривцун В. М., Курицын Ю. А., Снегирёв Е. П. и др. Измерение малых концентраций PH3 в GeH4 с помощью спектрометра на перестраиваемые диодные лазерах /Журн. прикл. спектроскопии. 1985. Т. 63. С. 571 -576.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Кривцун В. М., Курицын Ю. А., Снегирёв Е. П. и др. Измерение малых концентраций PH3 в GeH4 с помощью спектрометра на перестраиваемые диодные лазерах /Журн. прикл. спектроскопии. 1985. Т. 63. С. 571 -576.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit18"><label>18</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Сенников П. Г., Кошелева И. А., Буланов А. Д. и др. Изучение примесного состава изотопно-обогащенного германа методом ИК-Фурье спектроскопии высокого разрешения / Перспективные материалы. 2011. Вып. 10. С. 93 - 98.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Сенников П. Г., Кошелева И. А., Буланов А. Д. и др. Изучение примесного состава изотопно-обогащенного германа методом ИК-Фурье спектроскопии высокого разрешения / Перспективные материалы. 2011. Вып. 10. С. 93 - 98.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit19"><label>19</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. Идентификация примесей в моногермане высокой чистоты методом хромато-массспектрометрии / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т. 78. № 7. С. 11 - 15.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. Идентификация примесей в моногермане высокой чистоты методом хромато-массспектрометрии / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т. 78. № 7. С. 11 - 15.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit20"><label>20</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Чурбанов М. Ф., Крылов В. А., Чернова О. Ю. и др. Примесный состав изотопно-обогащенного моногермана / Перспективные материалы. Специальный выпуск. 2010. Вып. 8. С. 105 - 108.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Чурбанов М. Ф., Крылов В. А., Чернова О. Ю. и др. Примесный состав изотопно-обогащенного моногермана / Перспективные материалы. Специальный выпуск. 2010. Вып. 8. С. 105 - 108.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit21"><label>21</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. и др. Хрома-то-масс-спектрометрический анализ германа высокой чистоты / Аналитика и контроль. 2015. Т. 19. № 1. С. 45-51.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. и др. Хрома-то-масс-спектрометрический анализ германа высокой чистоты / Аналитика и контроль. 2015. Т. 19. № 1. С. 45-51.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit22"><label>22</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. Состав молекулярные примесей в высокочистом германе / Неорганические материалы. 2015. Т. 51. № 10. С. 1047 - 1053.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. Состав молекулярные примесей в высокочистом германе / Неорганические материалы. 2015. Т. 51. № 10. С. 1047 - 1053.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit23"><label>23</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. Высокочувствительное хромато-масс-спектрометрическое определение примесей в мо ногермане высокой чистоты с применением адсорбционной капиллярной колонки с углеродным сорбентом / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2016. Т. 82. № 2. С. 23 - 27.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. Высокочувствительное хромато-масс-спектрометрическое определение примесей в мо ногермане высокой чистоты с применением адсорбционной капиллярной колонки с углеродным сорбентом / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2016. Т. 82. № 2. С. 23 - 27.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit24"><label>24</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Потапов А. М., Курганова А. Е., Буланов А. Д. и др. Изотопный анализ моногерманов 72GeH4, 73GeH4, 74GeH и 76GeH методом масс-спектрометрии высокого разрешения с индуктивно связанной плазмой (МС-ИСП) / Журн. аналит. химии. 2016. Т. 71. №7. С. 698 - 706.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Потапов А. М., Курганова А. Е., Буланов А. Д. и др. Изотопный анализ моногерманов 72GeH4, 73GeH4, 74GeH и 76GeH методом масс-спектрометрии высокого разрешения с индуктивно связанной плазмой (МС-ИСП) / Журн. аналит. химии. 2016. Т. 71. №7. С. 698 - 706.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit25"><label>25</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Жигач А. Ф., Стасиневич Д. С. Химия гидридов. - Л.: Химия, 1969. - 676 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Жигач А. Ф., Стасиневич Д. С. Химия гидридов. - Л.: Химия, 1969. - 676 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit26"><label>26</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. Хромато-массспектрометрическая идентификация примесей в изотопно-обогащенном силане / Масс-спектрометрия. 2007. № 4. С. 125 - 130.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. Хромато-массспектрометрическая идентификация примесей в изотопно-обогащенном силане / Масс-спектрометрия. 2007. № 4. С. 125 - 130.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit27"><label>27</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Берёзкин В. Г., Королёв А. А., Хотимский В. С. Политриметилсилилпропин как адсорбент в капиллярной газовой хроматографии / Доклады АН. 2000. Т. 370. С. 200 - 204.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Берёзкин В. Г., Королёв А. А., Хотимский В. С. Политриметилсилилпропин как адсорбент в капиллярной газовой хроматографии / Доклады АН. 2000. Т. 370. С. 200 - 204.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit28"><label>28</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Агафонов И. Л., Девятых Г. Г. Масс-спектрометрический анализ газов и паров особой чистоты. - М.: Наука, 1980. - 336 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Агафонов И. Л., Девятых Г. Г. Масс-спектрометрический анализ газов и паров особой чистоты. - М.: Наука, 1980. - 336 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit29"><label>29</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">van der Kelen G. P. The mass spectra of mono- and digermane / Bulleten des societes chimiques Belgas. 1960. Vol. 69. P. 504 - 516.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">van der Kelen G. P. The mass spectra of mono- and digermane / Bulleten des societes chimiques Belgas. 1960. Vol. 69. P. 504 - 516.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit30"><label>30</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Fitch W. L. Calculation of relative Electron Impact Total Ionization Cross Dections for Organic Molecules / Anal. Chem. 1983. Vol. 55. P. 832-835.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Fitch W. L. Calculation of relative Electron Impact Total Ionization Cross Dections for Organic Molecules / Anal. Chem. 1983. Vol. 55. P. 832-835.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit31"><label>31</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Mann J. B. Ionization ctoss sections of the elements calculated from mean-square radii of atomic orbitals / J. Chem. Phys. 1967. Vol. 46. P. 1646 - 1651.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Mann J. B. Ionization ctoss sections of the elements calculated from mean-square radii of atomic orbitals / J. Chem. Phys. 1967. Vol. 46. P. 1646 - 1651.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit32"><label>32</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Beran J. A., Kevan L. Molecular Electron Ionization Cross Sections at 70 eV / J. Phys. Chem. 1959. Vol. 73. P. 3866 - 3876.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Beran J. A., Kevan L. Molecular Electron Ionization Cross Sections at 70 eV / J. Phys. Chem. 1959. Vol. 73. P. 3866 - 3876.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit33"><label>33</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Крылов В. А., Созин А. Ю., Зорин В. А. и др. Хромато-массспектрометрическое определение примесей в изотопно-обогащенном силане высокой чистоты / Масс-спектрометрия. 2008. Т. 6. № 4. С. 225 - 233.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Крылов В. А., Созин А. Ю., Зорин В. А. и др. Хромато-массспектрометрическое определение примесей в изотопно-обогащенном силане высокой чистоты / Масс-спектрометрия. 2008. Т. 6. № 4. С. 225 - 233.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit34"><label>34</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Основы аналитической химии. Изд. 2-е.: в 2 т. / Под ред. Ю. А. Золотова. - М.: Высшая школа, 2000. - 351 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Основы аналитической химии. Изд. 2-е.: в 2 т. / Под ред. Ю. А. Золотова. - М.: Высшая школа, 2000. - 351 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref><ref id="cit35"><label>35</label><citation-alternatives><mixed-citation xml:lang="ru">Справочник химика. Изд. 2-е испр.: в 6 т. Т. 2 / Гл. ред. Б. П. Никольский. - Л.: Химия, 1964. - 1168 с.</mixed-citation><mixed-citation xml:lang="en">Справочник химика. Изд. 2-е испр.: в 6 т. Т. 2 / Гл. ред. Б. П. Никольский. - Л.: Химия, 1964. - 1168 с.</mixed-citation></citation-alternatives></ref></ref-list><fn-group><fn fn-type="conflict"><p>The authors declare that there are no conflicts of interest present.</p></fn></fn-group></back></article>
