Preview

Заводская лаборатория. Диагностика материалов

Расширенный поиск
Доступ открыт Открытый доступ  Доступ закрыт Только для подписчиков

Контроль состава и утилизация фторсодержащих газовых смесей для эксимерных лазеров

https://doi.org/10.26896/1028-6861-2019-85-11-26-30

Полный текст:

Аннотация

Описана методика анализа фторсодержащих газовых смесей для эксимерных лазеров, которая позволяет определять от 0,1 до 5 % мол. фтора с относительной погрешностью не более 6 % и представлена установка для контроля состава этих смесей. В промышленности фтор из газообразных отходов удаляют с помощью оксида алюминия. В связи с этим в работе была определена адсорбционная активность оксида алюминия по отношению к элементному фтору, рассчитанное значение которой в предположении мономолекулярной адсорбции составило 0,255 г/г, однако ее экспериментально измеренное значение оказалось на два порядка величины меньше. Вероятно, это связано с низкой адсорбционной активностью поверхности оксида алюминия. Для активации поверхности адсорбента были опробованы галогенсодержащие активаторы — бромид и йодид калия, которые взаимодействуют со фтором, превращая его в нелетучий фторид калия и свободный бром или йод. Эти компоненты хорошо адсорбируются на оксиде алюминия, придавая ему желтую или бурую окраску. Экспериментально установлено, что происходит именно активация поверхности адсорбента, поскольку емкость активированного сорбента в 15 раз превышает количество фтора, связанного за счет химической реакции, а суммарная адсорбционная емкость оксида алюминия возрастает в 80 раз по сравнению с неактивированным адсорбентом.

Об авторах

А. С. Кузнецова
Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева
Россия

Анна Сергеевна Кузнецова

603950, Нижний Новгород, ул. Минина, 24



Г. М. Мочалов
Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева
Россия

Георгий Михайлович Мочалов

603950, Нижний Новгород, ул. Минина, 24



С. С. Суворов
Фирма «ХОРСТ», ООО
Россия

Сергей Сергеевич Суворов

117545, Москва, ул. Подольских курсантов, 3



Список литературы

1. Газовые смеси для эксимерных лазеров. http://horst.ru/products/excimer (дата обращения 18 апреля 2019).

2. COMPexPro Series 10/2005. http://lasers.coherent.com/lasers/lambda-physik (дата обращения 18 апреля 2019).

3. ГН 2.2.5.1313–03. Предельно допустимые концентрации (ПДК) вредных веществ в воздухе рабочей зоны. — М.: Стандартинформ, 2003. — 201 с.

4. Другов Ю. С., Конопелько Ю. А. Газохроматографический анализ газов. — М.: МОИМПЕКС, 1995. — 464 с.

5. Лисицына Н. В. Эксимерные лазеры: уч.-метод. пособие. — М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2006. — 43 с.

6. Хофф П., Роудз Ч., Кросс М. и др. Эксимерные лазеры. — М.: Мир, 1981. — 248 с.

7. Шалина Т. И., Васильева Л. С. Общие вопросы токсического действия фтора / Сибирский мед. журн. 2009. № 5. С. 6 – 9.

8. Pat. US3780497A. Adsorption of fluorine and fluorine compounds on alumina / Muhlrad W. Air Industrie; N 173475; publ. 25.12.1973.

9. Вредные вещества в промышленности: справочник. Т. 3 / Под ред. Н. В. Лазарева, И. Д. Гадаскиной. — М.: Химия, 1977. — 608 с.

10. ГОСТ Р 8.736–2011. Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов измерений. Основные положения. — М.: Стандартинформ, 2013. — 20 с.


Для цитирования:


Кузнецова А.С., Мочалов Г.М., Суворов С.С. Контроль состава и утилизация фторсодержащих газовых смесей для эксимерных лазеров. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2019;85(11):26-30. https://doi.org/10.26896/1028-6861-2019-85-11-26-30

For citation:


Kuznetsova A.S., Mochalov G.M., Suvorov S.S. Analysis of the composition and utilization of fluorine-containing gas mixtures for excimer lasers. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2019;85(11):26-30. (In Russ.) https://doi.org/10.26896/1028-6861-2019-85-11-26-30

Просмотров: 36


ISSN 1028-6861 (Print)
ISSN 2588-0187 (Online)