Контроль промышленных изделий методом микрофокусной рентгенографии

Рентгенографические методы по сравнению с другими методами контроля характеризуются высокой информативностью, наглядностью и оперативностью. В работе представлены результаты применения микрофокусной рентгенографии при контроле и диагностике промышленных изделий. Отличительная особенность метода микрофокусной рентгенографии — использование источника рентгеновского излучения с фокусным пятном микронных размеров и съемка с прямым геометрическим увеличением объекта исследования. Минимальные размеры визуализируемых структур в этом случае не ограничены размером пикселя приемника изображения и могут быть существенно меньше. Показано, что микрофокусная рентгенография позволяет не менее чем на порядок увеличить информативность получаемых рентгенограмм вследствие повышения пространственного разрешения. При этом технические средства для реализации метода могут быть малогабаритными, рассчитанными на применение в нестационарных и неспециализированных условиях. Полученные результаты могут быть использованы в научных исследованиях, при промышленном контроле изделий в электронике, приборостроении и других областях.

1. Иванов С. А., Щукин Г. А. Рентгеновские трубки технического назначения. — Л.: Энергоатомиздат, 1989. — 200 с.

2. Подымскн й А. А., Потрахов Н. Н. Микрофокусные рентгеновские трубки нового поколения / Контроль. Диагностика. 2017. № 4. С. 4 - 8. DOI:10.14489/td.2017.04

3. Potrakhov N. N., Bessonov V В., Obodovsky A. V., et al. 0,2BPM64-200 microfocus X-ray tube for projection radiography / Russ. J. Nondestract. Testing. 2017. Vol. 53. N 3. P 227 - 230. DOI:10.1134/S106183091703007X

4. Буртело в В. А., Кудряшо в А. В., Шеши н E. П., Худа Халид Хамнд Маджма. Компактные источники рентгеновского излучения / Труды МФТИ. 2019. Т. 11. № 2(42). С. 116 - 155.

5. Мирошниченк о С. И. Цифровые приемники рентгеновских изображений. — Киев: Медицина Украины, 2014. — 100 с.

6. Kozhevnikov D., Chelkov G., Demichev M., et al. Performance and applications of GaAs: Cr-based Medipix detector in X-ray CT / J. Instr. 2017. Vol. 12. N 1. P C01005.

7. Kim H., Cunningham I., Yin Z., Cho G. On the development of digital radiography detectors: a review / Int. J. Prec. Eng. Manufact. 2008. Vol. 9. P 86 - 100.

8. Григоро в M. С. Классификация цифровых систем неразрушающего рентгеновского контроля изделий микроэлектроники / Труды СПИИРАН. 2014. № 4(35). С. 94 - 107.

9. Потрахов Н. Н. Диагностические возможности микрофокусной рентгенографии / Медицинская техника. 2014. № 5(287). С. 8 - 12.

10. Микрофокусная рентгенография в медицине. — СПб.: СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2015. — 91 с.

11. Терещенко С. А. Методы вычислительной томографии. — М.: Физматлит, 2004. — 318 с.

12. Бессонов В. Б., Потрахов Н. Н., Ободовскнй А. В. н др. Рентгеновская томография / Фотоника. 2019. Т. 13. № 7. С. 688 - 693.

13. Потрахов Н. Н., Грязно в А. К)., Жамов а К. К. н др. Микрофокусная рентгенография: результаты исследований Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова / Территория NDT 2016. № 3. С. 54.

14. Потрахов Н. Н., Бессонов В. Б., Ободовскнй А. В. н др. Установки для рентгеновского контроля (обзор) / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2019. Т. 85. № 10. С. 35 - 42.

15. Потрахов Н., Хаютн н С , Лифши ц В., Осес Р. Установка ПРДУ «КРОС» для экспрессного определения кристаллографической ориентации кубических монокристаллов по обратным лауэграммам / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2015. Т. 81. № 8. С. 27 - 30.

16. Потрахов Е. Н., Потрахов Н. Н., Подымскн й А. А. н др. Контроль качества кольцевых сварных швов малого диаметра с помощью рентгеновского аппарата РАП-120ПМ / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2017. Т. 83. № 6. С. 36 - 38.

17. Алыков А., Корбанкова Т., Кулибаба А. и др. Рентгеновский контроль электронной компонентной базы / Электроника: наука, технология, бизнес. 2021. № 6(207). С. 62 - 65. DOI:10.22184/1992-4178.2021.207.6.62.65

18. Корж Д. А., Севрюги н П. В. Анализ методов и средств входного контроля печатных плат / Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2018. Т. 18. №5. С. 1139-1142.

19. Потрахов Н. Н. Микрофокусная рентгенография в стоматологии и челюстно-лицевой хирургии. — СПб.: Техномедиа, 2007. — 184 с.

20. Устинов А. О. Системы рентгеновской инспекции электронных узлов отечественного производства / Наноиндустрия. 2020.№S96-2. С. 515-517. DOI:10.22184/1993-8578.2020.13.3s.515.517

21. Бессонов В. Б., Ларионо в И. А., Ободовскнй А. В. Особенности разработки программно-аппаратных комплексов для микрофокусной рентгеновской компьютерной томографии / Физические основы приборостроения. 2019. Т. 8. № 4(34). С. 23 - 33.