Preview

Заводская лаборатория. Диагностика материалов

Расширенный поиск

Оценка составляющей систематической погрешности рентгеноспектрального микроанализа, обусловленной поверхностным рельефом образца

Полный текст:

Аннотация

Предложен полуэмпирический способ априорной оценки влияния рельефа поверхности на результаты рентгеноспектрального анализа бинарных соединений. Безразмерный параметр к, характеризующий влияние рельефа на интенсивность характеристического рентгеновского излучения, определили с использованием экспериментальных данных, полученных для тестовых монокристаллических образцов GaAs с известными геометрическими параметрами рельефа.

Об авторах

А. Л. Васильев
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
Россия


В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия


А. А. Михуткин
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
Россия


П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума; Московский физико-технический институт
Россия


М. Н. Филиппов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума; Московский физико-технический институт; Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Россия


Список литературы

1. Newbury D. E. Microbeam analysis of samples of unusual shape / J. Phys. Colloq. 1984. Vol. 45. N C2. P. 775 - 780.

2. Small J. A., Heinrich K. F. J., Fiori C. E., et al. The production and characterization of glass fibers and spheres for microanalysis / Scanning Electron Microscopy. 1978. Vol. 1. P. 445 - 454.

3. Small J. A., Heinrich K. F. J., Newbury D. E., Myklebust R. L. Progress in the development of the peak-to-background method for the quantitative analysis of single particles with the electron probe / Scanning Electron Microscopy. 1979. Vol. 2. P. 807 - 816.

4. Yamada A., Fons P., Matsubara K., et al. Electron beam probe quantization of compound composition: surface phases and surface roughness / Thin Solid Films. 2003. Vol. 431 - 432. P. 277 - 283.

5. Gauvin R., Lifshin E. Simulation of X-ray emission from rough surfaces / Microchim. Acta. 2000. Vol. 132. P. 201 - 204.


Для цитирования:


Васильев А.Л., Митюхляев В.Б., Михуткин А.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Оценка составляющей систематической погрешности рентгеноспектрального микроанализа, обусловленной поверхностным рельефом образца. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2016;82(12):15-18.

For citation:


Vasil’Ev A.L., Mityukhlyaev V.B., Mikhutkin A.A., Todua P.A., Filippov M.N. Evaluation of the Component of the Systematic Error in X-Ray Microanalysis Attributed to the Surface Relief of the Sample. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2016;82(12):15-18. (In Russ.)

Просмотров: 80


ISSN 1028-6861 (Print)
ISSN 2588-0187 (Online)