Оценка составляющей систематической погрешности рентгеноспектрального микроанализа, обусловленной поверхностным рельефом образца
Аннотация
Предложен полуэмпирический способ априорной оценки влияния рельефа поверхности на результаты рентгеноспектрального анализа бинарных соединений. Безразмерный параметр к, характеризующий влияние рельефа на интенсивность характеристического рентгеновского излучения, определили с использованием экспериментальных данных, полученных для тестовых монокристаллических образцов GaAs с известными геометрическими параметрами рельефа.
Об авторах
А. Л. Васильев
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
А. А. Михуткин
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума; Московский физико-технический институт
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума; Московский физико-технический институт; Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Newbury D. E. Microbeam analysis of samples of unusual shape / J. Phys. Colloq. 1984. Vol. 45. N C2. P. 775 - 780.
2. Small J. A., Heinrich K. F. J., Fiori C. E., et al. The production and characterization of glass fibers and spheres for microanalysis / Scanning Electron Microscopy. 1978. Vol. 1. P. 445 - 454.
3. Small J. A., Heinrich K. F. J., Newbury D. E., Myklebust R. L. Progress in the development of the peak-to-background method for the quantitative analysis of single particles with the electron probe / Scanning Electron Microscopy. 1979. Vol. 2. P. 807 - 816.
4. Yamada A., Fons P., Matsubara K., et al. Electron beam probe quantization of compound composition: surface phases and surface roughness / Thin Solid Films. 2003. Vol. 431 - 432. P. 277 - 283.
5. Gauvin R., Lifshin E. Simulation of X-ray emission from rough surfaces / Microchim. Acta. 2000. Vol. 132. P. 201 - 204.
Рецензия
Для цитирования:
Васильев А.Л., Митюхляев В.Б., Михуткин А.А., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Оценка составляющей систематической погрешности рентгеноспектрального микроанализа, обусловленной поверхностным рельефом образца. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2016;82(12):15-18.
For citation:
Vasil’Ev A.L., Mityukhlyaev V.B., Mikhutkin A.A., Todua P.A., Filippov M.N. Evaluation of the Component of the Systematic Error in X-Ray Microanalysis Attributed to the Surface Relief of the Sample. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2016;82(12):15-18. (In Russ.)
Просмотров:
310
Послать статью по эл. почте 