ПРИМЕНЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО БАРЬЕРНОГО РАЗРЯДА ДЛЯ ОБНАРУЖЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ДЕФЕКТОВ МАТЕРИАЛОВ

Современные требования к качеству материалов требуют совершенствования способов контроля и разработки методов анализа состояния их поверхностей. Иметь качественные бездефектные поверхности материалов на производстве очень важно, так как многие из них используются для изготовления высокоточных приборов и устройств. Газоразрядная визуализация дефектов при атмосферном давлении заключается в получении ярких плазменных образований в непосредственной близости от поверхности объекта с дефектом на фоне слабого свечения плазмы воздуха в электромагнитных полях высокой напряженности. Представлены результаты применения плазменных технологий для анализа состояния поверхности твердых материалов. Различного рода поверхностные дефекты выявляли с использованием самостоятельного диэлектрического барьерного разряда (ДБР) при атмосферном давлении. Построенная на основе предлагаемого способа экспресс-методика позволяет быстро отбраковывать дефектные материалы или образцы перед их технологическим использованием. Разработан комплекс диагностических средств и вспомогательного оборудования для визуального обнаружения на исследуемых объектах механических дефектов и оценки качества исходного сырья. Особое внимание уделено поиску дефектов конструкционных элементов промышленных установок, контролю качества поверхностей прозрачных и непрозрачных материалов и определению степени увлажненности волокнистых структур (на примере тканых материалов).

1. Ситанов Д. В., Анжауров А. А. Плазменная визуализация биологических активных точек на коже человека / ФизХОМ. 2016. № 2. С. 28 – 31.

2. Пат. 2579546 РФ, МПК G01N 21/21 (2006.01). Способ обнаружения механических дефектов на поверхности твердых материалов / Ситанов Д. В., Анжауров А. А.; заявитель и патентообладатель Ивановский государственный химико-технологический университет (ИГХТУ). — № 2014154429/28; заявл. 30.12.2014; опубл. 10.04.2016. Бюл. № 10.

3. Корнев Я. И., Яворовский Н. А., Иванов Г. Ф. и др. Использование эмиссионных спектров для исследования характеристик барьерного разряда в водо-воздушной среде / Известия Томского политехнического университета. 2003. Т. 306. № 5. С. 78 – 82.

4. Пискарев И. М., Иванова И. П., Трофимова С. В. Источник излучения плазмы на основе искрового разряда на воздухе для биомедицинских исследований / Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований. 2014. № 10. С. 12 – 16.

5. Климовский И. И. Тайны умирающих листьев / Энергия: экономика, техника, экология. 1986. № 6. С. 78 – 87.

6. Ситанов Д. В., Пивоваренок С. А. Обнаружение дефектов на поверхности полупроводниковых материалов с использованием диэлектрического барьерного разряда / Микроэлектроника. 2018. Т. 47. № 1. С. 38 – 44.

7. Овцын А. А., Артюхов А. И., Смирнов С. А. Кинетические закономерности травления поликарбоната в плазме кислорода и воздуха / Известия вузов. Серия: химия и химическая технология. 2016. Т. 59. № 2. С. 52 – 56.

8. Райзер Ю. П. Физика газового разряда. Изд. 3-е, перераб. и доп. — Долгопрудный: Интеллект, 2009. — 736 с.