Study of the Impurity Profile of Silane Enriched with Isotope29Si, Using Gas Chromatography - Mass Spectrometry
Abstract
Gas chromatography-mass spectrometry is used to study the impurity profile of silane enriched with29Si to 99.9 % at. We managed to identify 32 impurity substances (hydrocarbons C3 - C9, alkylsilane, homologues of silane, siloxanes, and fluorotrisiloxanes) and first obtained mass spectra of Si2H6, Si3H8, n-Si4H10, iso-Si4H10, Si2H6O, Si3H8O2, n-Si4H10O3, iso-Si4H10O3, Si3H7FO2, SiH3CH3, SiH3C2H5, (SiH3)2CH2 Si2H5CH3, SC3H10, enriched with29Si.
About the Authors
A. Yu. Sozin
Институт химии высокочистых веществ им. Г. Г. Девятых РАН
Russian Federation
Russian Federation
O. Yu. Chernova
Институт химии высокочистых веществ им. Г. Г. Девятых РАН
Russian Federation
Russian Federation
A. D. Bulanov
Институт химии высокочистых веществ им. Г. Г. Девятых РАН; Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Becker P. The silicon-28 path to the Avogadro constant - first experiments and outlook / IEEE Trans. Instrum. Measurement. 1995. Vol. 45. P. 522 525.
2. Девятых Г. Г., Буланов А. Д., Гусев А. В. Получение высокочистого моноизотопного кремния-28 / Доклады АН. 2001. Т. 376. №4. С. 492 493.
3. Крылов В. А. Анализ высокочистых летучих веществ / Журн. аналит. химии. 2002. Т. 57. № 8. С. 790 802.
4. de Saint Etienne С., Mettes J. Gas phase impurities in silane determined by gas chromatography - mass spectrometry / Analyst. 1989. Vol. 114. P. 1649 1653.
5. Чупров Л. А., Сенников П. Г., Тохадзе К. Г. и др. Примеси в тетрафториде кремния и получаемом из него силане по данным ИК-Фурье-спектроскопии высокого разрешения / Неорг. матер. 2006. Т. 42. № 8. С. 1017 1024.
6. Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. Хроматомасс-спектрометрическая идентификация примесей в изотопно-обогащенном силане / Масс-спектрометрия. 2007. № 4. С. 125 - 130.
7. Крылов В. А., Сенников П. Г., Чернова О. Ю. и др. Молекулярный анализ изотопно-обогащенного 28SiF4 и получаемого из него 28SiH4 / Неорг. матер. 2008. Т. 44. № 7. С. 871 - 877.
8. Крылов В. А., Созин А. Ю., Зорин В. А. и др. Хроматомасс-спектрометрическое определение примесей в изотопно-обогащенном силане высокой чистоты / Масс-спектрометрия. 2008. Т. 4. С. 225 -233.
9. Крылов В. А., Чернова О. Ю., Созин А. Ю. Хромато-масс-спектрометрическая идентификация примесей в силане природного изотопного состава и обогащенном 28Si / Аналитика и контроль. 2011. Т. 5. № 4. С. 421 - 428.
10. Klokner H. J., Eschwey M. Hochreines monosilan für die elektronik-industrie-synthese, reinigung und charakterisierung / Chem. Ing. Tech. 1988. Vol. 60. N 11. P. 815 - 826.
11. Morisaco I., Kato T., Ino Y., Schaefer K. Trace gas detection in high purity gases for semiconductor fabrication with a new GC/MS system / Int. J. Mass Spectrom. Ion Phys. 1983. Vol. 48. P. 19 - 22.
12. Cambria T., McManus J. Identification and removal of impurities in silane and dichlorsilane gas streams / Solid State Technol. 1990. Vol. 50. P. 95 98.
13. Буланов А. Д., Трошин О. Ю., Котков А. П. и др. Получение высокочистых моноизотопных силанов 29SiH и 30SiH4 / Перспективные материалы. 2010. Спец. вып. 8. С. 341 - 344.
14. Девятых Г. Г., Дианов Е. М., Буланов А. Д. и др. Получение высокочистого моноизотопного силана: 28SiH4, 29SiH4,30SiH4 / Доклады АН. 2003. Т. 391. № 5. С. 638 - 639.
15. Березкин В. Г., Королев А. А., Хотимский В. С. Политриметилсилилпропин как адсорбент в капиллярной газовой хроматографии / Доклады АН. 2000. Т. 370. С. 200 - 204.
16. Лебедев А. Т. Масс-спектрометрия в органической химии. - М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2003. - 493 с.
17. Крылов В. А., Сорочкина Т. Г. Газохроматографическое определение микропримесей углеводородов C1 - C4 в тетрафториде кремния высокой чистоты / Журн. аналит. химии. 2005. Т. 60. № 12. С. 1262 1266.
18. Трошин О. Ю. Получение высокочистого моноизотопного силана Si28H4: дис.. канд. хим. наук. - Н. Новгород, 2004. 103 с.
19. Брауэр Г. Руководство по неорганическому синтезу. Т. 3. - М.: Мир, 1985. - 392 с.
20. Белов Е. П. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов. - М.: НИИТЭХИМ, 1989. - 37 с.
Review
For citations:
Sozin A.Yu., Chernova O.Yu., Bulanov A.D. Study of the Impurity Profile of Silane Enriched with Isotope29Si, Using Gas Chromatography - Mass Spectrometry. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2016;82(9):16-21. (In Russ.)
Views:
362
Email this article 