Preview

Заводская лаборатория. Диагностика материалов

Расширенный поиск
Доступ открыт Открытый доступ  Доступ закрыт Только для подписчиков

Электронно -зондовый рентгеноспектральный анализ наночастиц

Полный текст:

Аннотация

Рассмотрены два подхода к улучшению локальности определения методом электронно-зондового рентгеноспектрального микроанализа (ЭЗРСМА) при исследовании состава наночастиц. Первый подход основан на использовании в качестве аналитических ультрамягких рентгеновских линий L- и М-серий характеристического излучения определяемых элементов, возбуждаемых электронами сравнительно низких энергий (менее 5 кэВ). Для этого случая разработана схема количественного ЭЗРСМА, включающая новый способ вычисления поправок на матричные эффекты. Экстраполяционный способ построения градуировочной характеристики распространен на все элементы с Z >40. Второй подход основан на использовании части аналитического сигнала, обусловленного только возбуждением электронами зонда. Достигнута латеральная локальность около 2 нм, продольная - 20-60 нм, минимально определяемая масса вещества составляет около (1 - 2,5) • 1021 г, что соответствует 10 - 30 атомам определяемых элементов.

Об авторах

С. А. Дарзнек
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия


В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия


П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия


М. Н. Филиппов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума; Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Россия


Список литературы

1. Рид С. Электронно-зондовый микроанализ. - М.: Мир, 1979.

2. Reimer L. Scanning electron microscopy. Physics of image formation and microanalysis / Springer series in Optical Sciences. Vol. 45. 2nd edition. - Berlin - N.Y. - Heidelberg: Springer, 1998. - 529 p.

3. Pouchou J. L. X-Ray microanalysis of stratified specimens / Anal. Chim. Acta. 1993. Vol. 283. N 1. P. 81 - 97.

4. Куприянова Т. А., Филиппов М. Н. Определение легких элементов в электронно-зондовом микроанализе / Известия РАН. Серия физическая. 1998. Т. 62. № 3. С. 627 - 634.

5. Заблоцкий А. В., Кузин А. Ю., Михеев H. Н. и др. Учет матричных эффектов при измерениях методом рентгеноспектрального микроанализа / Измерительная техника. 2013. № 7. С. 58-61.

6. Green M. The target absorption correction in X-ray microanalysis / X-ray Optics and X-ray Microanalysis. 1963. P. 361 - 377.

7. Дарзнек С. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б. Экспериментальные исследования трехмерной реконструкции рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе / Измерительная техника. 2016. № 8. С. 24 - 26.


Для цитирования:


Дарзнек С.А., Митюхляев В.Б., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Электронно -зондовый рентгеноспектральный анализ наночастиц. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2017;83(8):5-9.

For citation:


Darznek S.A., Mityukhlyaev V.B., Todua P.A., Filippov M.N. Electron Probe X-Ray Spectral Analysis of Nanoparticles. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2017;83(8):5-9. (In Russ.)

Просмотров: 151


ISSN 1028-6861 (Print)
ISSN 2588-0187 (Online)