Электронно -зондовый рентгеноспектральный анализ наночастиц
Аннотация
Рассмотрены два подхода к улучшению локальности определения методом электронно-зондового рентгеноспектрального микроанализа (ЭЗРСМА) при исследовании состава наночастиц. Первый подход основан на использовании в качестве аналитических ультрамягких рентгеновских линий L- и М-серий характеристического излучения определяемых элементов, возбуждаемых электронами сравнительно низких энергий (менее 5 кэВ). Для этого случая разработана схема количественного ЭЗРСМА, включающая новый способ вычисления поправок на матричные эффекты. Экстраполяционный способ построения градуировочной характеристики распространен на все элементы с Z >40. Второй подход основан на использовании части аналитического сигнала, обусловленного только возбуждением электронами зонда. Достигнута латеральная локальность около 2 нм, продольная - 20-60 нм, минимально определяемая масса вещества составляет около (1 - 2,5) • 1021 г, что соответствует 10 - 30 атомам определяемых элементов.
Об авторах
С. А. Дарзнек
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
В. Б. Митюхляев
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
П. А. Тодуа
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
Россия
Россия
М. Н. Филиппов
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума; Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Россия
Россия
Список литературы
1. Рид С. Электронно-зондовый микроанализ. - М.: Мир, 1979.
2. Reimer L. Scanning electron microscopy. Physics of image formation and microanalysis / Springer series in Optical Sciences. Vol. 45. 2nd edition. - Berlin - N.Y. - Heidelberg: Springer, 1998. - 529 p.
3. Pouchou J. L. X-Ray microanalysis of stratified specimens / Anal. Chim. Acta. 1993. Vol. 283. N 1. P. 81 - 97.
4. Куприянова Т. А., Филиппов М. Н. Определение легких элементов в электронно-зондовом микроанализе / Известия РАН. Серия физическая. 1998. Т. 62. № 3. С. 627 - 634.
5. Заблоцкий А. В., Кузин А. Ю., Михеев H. Н. и др. Учет матричных эффектов при измерениях методом рентгеноспектрального микроанализа / Измерительная техника. 2013. № 7. С. 58-61.
6. Green M. The target absorption correction in X-ray microanalysis / X-ray Optics and X-ray Microanalysis. 1963. P. 361 - 377.
7. Дарзнек С. А., Кузин А. Ю., Митюхляев В. Б. Экспериментальные исследования трехмерной реконструкции рельефных структур по стереоизображениям, полученным в растровом электронном микроскопе / Измерительная техника. 2016. № 8. С. 24 - 26.
Рецензия
Для цитирования:
Дарзнек С.А., Митюхляев В.Б., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Электронно -зондовый рентгеноспектральный анализ наночастиц. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2017;83(8):5-9.
For citation:
Darznek S.A., Mityukhlyaev V.B., Todua P.A., Filippov M.N. Electron Probe X-Ray Spectral Analysis of Nanoparticles. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2017;83(8):5-9. (In Russ.)
Просмотров:
680
Послать статью по эл. почте 