Для цитирования:
Созин А.Ю., Чернова О.Ю., Сорочкина Т.Г., Трошин О.Ю., Котков А.П. Исследование примесного состава тетрахлорида кремния методом хромато-масс-спектрометрии. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2024;90(3):5-11. https://doi.org/10.26896/1028-6861-2024-90-3-5-11
For citation:
Sozin A.Yu., Chernova O.Yu., Sorochkina T.G., Troshin O.Yu., Kotkov A.P. Study of the impurity composition of silicon tetrachloride by gas chromatography-mass-spectrometry. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2024;90(3):5-11. (In Russ.) https://doi.org/10.26896/1028-6861-2024-90-3-5-11
JATS XML






























