Preview

Заводская лаборатория. Диагностика материалов

Расширенный поиск

Универсальный способ пробоподготовки для микротекстурного и фазового анализа EBSD-методом

Полный текст:

Аннотация

EBSD-метод (Electron Backscattered Diffraction) используют для фазового и микротекстурного анализа вещества. EBSD-детектором - приставкой к сканирующему электронному микроскопу -диагностируют тип кристаллической решетки и ее ориентацию в каждой точке образца. При этом достоверность результатов зависит от корректности пробоподготовки, которая для разных материалов требует различных методик, а в ряде случаев - дополнительного оборудования. Предложен метод подготовки образцов, характеризующийся в отличие от традиционных подходов универсальностью и быстротой. Метод использует ионный зонд двухлучевого сканирующего электронного микроскопа и позволяет работать с разными материалами однотипным образом. Главное его преимущество - можно подготовить для EBSD только выбранный участок поверхности без полировки остальной части, что принципиально в тех случаях, когда полировка всего образца невозможна по каким-либо причинам. Также высокое разрешение метода незаменимо при EBSD-анализе единичных микрообъектов (например, специфических включений или дефектов в материале, микронных зерен редких минералов в руде и др.). При других способах EBSD-пробоподготовки сохранность подобных микрообъектов после финальной полировки не гарантирована.

Об авторе

М. В. Лукашова
ООО «ТЕСКАН»
Россия


Список литературы

1. Метод дифракции отраженных электронов в материаловедении / Под ред. А. Шварца, М. Кумара, Б. Адамса, Д. Филда. - М.: Техносфера, 2014. - 544 с.

2. Engler O., Randle V. Introduction to Texture analysis. Macrotexture, microtexture and orientation mapping. - CRC Press, 2010.

3. Giannuzzi L. A., Stevie F. A. Introduction to focused ion beams. Instrumentation, theory, techniques and Practice. - Springer, 2005.


Для цитирования:


Лукашова М.В. Универсальный способ пробоподготовки для микротекстурного и фазового анализа EBSD-методом. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2016;82(4):42-46.

For citation:


Lukashova M.V. Universal Sample Preparation Method for Local Phase EBSD-Analysis. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2016;82(4):42-46. (In Russ.)

Просмотров: 257


ISSN 1028-6861 (Print)
ISSN 2588-0187 (Online)