Для цитирования:

Филатова Д.Г., Воробьева Н.А., Румянцева М.Н., Барановская В.Б., Баранчиков А.Е., Иванов В.К., Гаськов А.М. Синтез тонких пленок на основе ZnO, допированных Ga, In, и определение их состава методами рентгеновской спектроскопии и масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2016;82(11):17-20.

For citation:

Filatova D.G., Vorob’Eva N.A., Rumyantseva M.N., Baranovskaya V.B., Baranchikov A.E., Ivanov V.K., Gas’Kov A.M. Synthesis of ZnO-Based Thin Films Doped with Ga/In and Determination of Their Structure Using X-Ray Spectroscopy and Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2016;82(11):17-20. (In Russ.)