Алгоритм расчета толщины тонких металлических пленок
Об авторах
Ю. А. Концевой
НПП «Пульсар»
Россия
Россия
М. Н. Кондаков
НПП «Пульсар»
Россия
Россия
И. Г. Петрова
НПП «Пульсар»
Россия
Россия
Список литературы
1. Васильев А. Г., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А. СВЧ приборы и устройства на широкозонных полупроводниках. - М.: Техносфера, 2011. - 416 с.
2. Груздов В. В., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А. Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике. - М.: Техносфера, 2016.-328 с.
3. Пат. № 2558645 РФ, МПК G01B 11/06. Способ определения толщины металлических пленок / Завадский Ю. П., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А., Курмачев В. А.; заявитель и патентообладатель ОАО «НПП «Пульсар». - №201401391; заявл. 17.01.2014; опубл. 10.08.2015. Бюл. №22.
4. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ №2011617200 RU №4(77) от 20.12.2011. Программа поиска значений оптических констант поглощающего слоя структуры по измеренным характеристикам поляризации отраженного излучения (OPT-MIN. BAS) / Гуськов Б. Л., Завадский Ю. П., Концевой Ю. А.; заявитель и патентообладатель ОАО «НПП «Пульсар».
Рецензия
Для цитирования:
Концевой Ю.А., Кондаков М.Н., Петрова И.Г. Алгоритм расчета толщины тонких металлических пленок. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2016;82(12):41-42.
For citation:
Kontsevoy Yu.A., Kondakov M.N., Petrova I.G. Ellipsometric Determination the Thickness of Thin Metal Films. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2016;82(12):41-42. (In Russ.)
Просмотров:
317
Послать статью по эл. почте 