Ellipsometric Determination the Thickness of Thin Metal Films

1. Васильев А. Г., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А. СВЧ приборы и устройства на широкозонных полупроводниках. - М.: Техносфера, 2011. - 416 с.

2. Груздов В. В., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А. Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике. - М.: Техносфера, 2016.-328 с.

3. Пат. № 2558645 РФ, МПК G01B 11/06. Способ определения толщины металлических пленок / Завадский Ю. П., Колковский Ю. В., Концевой Ю. А., Курмачев В. А.; заявитель и патентообладатель ОАО «НПП «Пульсар». - №201401391; заявл. 17.01.2014; опубл. 10.08.2015. Бюл. №22.

4. Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ №2011617200 RU №4(77) от 20.12.2011. Программа поиска значений оптических констант поглощающего слоя структуры по измеренным характеристикам поляризации отраженного излучения (OPT-MIN. BAS) / Гуськов Б. Л., Завадский Ю. П., Концевой Ю. А.; заявитель и патентообладатель ОАО «НПП «Пульсар».