ПЛОСКОЕ НАПРЯЖЕННОЕ СОСТОЯНИЕ НЕРАВНОМЕРНО НАТЯНУТЫХ КОЛЬЦЕВЫХ КРУГОВ ДЛЯ РАЗРЕЗАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ
Аннотация
Об авторах
С. С. ЕрошинРоссия
Р. А. Аветисов
Россия
А. И. Хохлов
Россия
В. С. Ежлов
Россия
Список литературы
1. Запорожский В. П., Лапшинов Б. А. Обработка полупроводниковых материалов. - М.: Высшая школа, 1988. - 184 с.
2. Таращанский М. Т. Повышение точности резки полупроводниковых монокристаллов за счет уменьшения неравномерности натяжения корпуса отрезного круга: дис.. канд. техн. наук. - Луганск, 2006.-201 с.
3. Тимошенко С. П., Гудьер Дж. Теория упругости. - М.: Наука, 1975. -576 с.
4. Ерошин С. С. Исследование технологических факторов процесса алмазной резки слитков полупроводниковых материалов на пластины: дис.. канд. техн. наук. - М., 1975. - 195 с.
5. Патратьев А. Г. Исследование процесса разрезания слитков германия и кремния алмазными дисками с внутренней режущей кромкой в полупроводниковом производстве: дис.. канд. техн. наук. - М., 1967.-208 с.
6. Писаренко Г. С. и др. Справочник по сопротивлению материалов. - Киев: Наукова думка, 1988. - 736 с
Рецензия
Для цитирования:
Ерошин С.С., Аветисов Р.А., Хохлов А.И., Ежлов В.С. ПЛОСКОЕ НАПРЯЖЕННОЕ СОСТОЯНИЕ НЕРАВНОМЕРНО НАТЯНУТЫХ КОЛЬЦЕВЫХ КРУГОВ ДЛЯ РАЗРЕЗАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2017;83(2):56-60.
For citation:
Eroshin S.S., Avetisov R.A., Khokhlov A.I., Ezhlov V.S. Plane stress state of unevenly stretched annular wheels intended for cutting single crystals. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2017;83(2):56-60. (In Russ.)