Plane stress state of unevenly stretched annular wheels intended for cutting single crystals
Abstract
About the Authors
S. S. EroshinRussian Federation
R. A. Avetisov
Russian Federation
A. I. Khokhlov
Russian Federation
V. S. Ezhlov
Russian Federation
References
1. Запорожский В. П., Лапшинов Б. А. Обработка полупроводниковых материалов. - М.: Высшая школа, 1988. - 184 с.
2. Таращанский М. Т. Повышение точности резки полупроводниковых монокристаллов за счет уменьшения неравномерности натяжения корпуса отрезного круга: дис.. канд. техн. наук. - Луганск, 2006.-201 с.
3. Тимошенко С. П., Гудьер Дж. Теория упругости. - М.: Наука, 1975. -576 с.
4. Ерошин С. С. Исследование технологических факторов процесса алмазной резки слитков полупроводниковых материалов на пластины: дис.. канд. техн. наук. - М., 1975. - 195 с.
5. Патратьев А. Г. Исследование процесса разрезания слитков германия и кремния алмазными дисками с внутренней режущей кромкой в полупроводниковом производстве: дис.. канд. техн. наук. - М., 1967.-208 с.
6. Писаренко Г. С. и др. Справочник по сопротивлению материалов. - Киев: Наукова думка, 1988. - 736 с
Review
For citations:
Eroshin S.S., Avetisov R.A., Khokhlov A.I., Ezhlov V.S. Plane stress state of unevenly stretched annular wheels intended for cutting single crystals. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2017;83(2):56-60. (In Russ.)