Для цитирования:

Абрамов Н.Ф., Безруков А.В., Вольпян О.Д., Обод Ю.А. Влияние электропитания магнетронной распылительной системы на свойства осаждаемых пленок TiO₂. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2017;83(4):31-37.

For citation:

Abramov N.F., Bezrukov A.V., Volpyan O.D., Obod Yu.A. Impact of the Power Supply of Magnetron Sputtering System on the Properties of Deposited TiO₂ Films. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2017;83(4):31-37. (In Russ.)