Preview

Заводская лаборатория. Диагностика материалов

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Абрамов Н.Ф., Безруков А.В., Вольпян О.Д., Обод Ю.А. Влияние электропитания магнетронной распылительной системы на свойства осаждаемых пленок TiO2. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2017;83(4):31-37.

For citation:


Abramov N.F., Bezrukov A.V., Volpyan O.D., Obod Yu.A. Impact of the Power Supply of Magnetron Sputtering System on the Properties of Deposited TiO2 Films. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2017;83(4):31-37. (In Russ.)

Просмотров: 22


ISSN 1028-6861 (Print)
ISSN 2588-0187 (Online)